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光刻機是干什么用的？光刻機與蝕刻機哪個貴？

光刻機是做什么用的，我們手機中的芯片就是光刻機刻的嗎？光刻機一共就那么十幾臺，全球的芯片好幾個億，真刻的過來嗎？光刻機與蝕刻機哪個更貴？

2021-04-09
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匿名用戶

2021-04-09

　　光刻機是芯片制造流程中的核心設備，由于用途不同，分為生產芯片的光刻機、用來封裝的光刻機和LED領域的投影光刻機。

　　芯片的制造流程很復雜，可以分為：硅片制備、外延工藝、熱氧化、擴散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕和工藝集成等。

　　光刻工藝是制造流程中最關鍵的一步，光刻確定了芯片的關鍵尺寸，在整個制造過程中大約占了整體制造成本的35%。

　　蝕刻機分為兩類，目前主流的是濕刻，還有一類是干刻，濕刻就是特定的化學溶液和光刻機制作后的薄膜發生反應后剩下的東西，就是需要的東西，整個過程有液體接觸，所以稱為濕刻。

　　光刻機要更貴一些，一般來說，一架光刻機是7000萬美元，而一架刻蝕機是700萬美元。

　　低端光刻機技術與刻蝕機是差不多的，高端光刻機技術會比刻蝕機要高的多;原理上光刻機與刻蝕機難度基本上相等。

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